晶圆级范德华集成MoS₂晶体管

界面近零损伤

用半刚性印章把高质量金属接触无损伤贴合到单层MoS₂上，做出的晶体管性能一致、开态电流高、关态漏电低，还能直接跑通组合逻辑电路。

Yang, Xiangdong · 李佳 · Song, Rong · Zhao, Bei · Kong, Lingan · Huang, Hao · Zhang, Zhengwei · 廖蕾 · 刘渊 · Duan, Xiangfeng · 段曦东

Nature Nanotechnology 2023

技术优势

阈值电压变化远小于传统光刻器件

开态电流高于传统光刻器件

关态电流低于传统光刻器件

亚阈值摆幅小于传统光刻器件