SnO₂纳米棒-Si微柱树状结构

稳定气体敏感

直接生长在硅微柱上的SnO₂纳米棒解决了与硅基底粘附性差的问题，为硅基微加工兼容的气体传感器提供了可靠敏感结构。

刘静 · Futing, Yi · 张天冲 · Bo, Wang

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 2025

技术优势

对酒精和丙酮均表现出稳定的气体敏感性能