径向起伏降87%
与开环控制相比，该恒流控制方法可显著抑制沉积微结构的径向波动，从而提升微纳尺度金属导体的表面质量与结构稳定性。
Lei, Wang · 廖晓波 · Siyu, Chen · Wenlin, Wu · Tong, Li · 庄健 · Yong, Cai
Advanced Engineering Materials 2024
恒定电流控制抑制了沉积过程中的电流波动，使得铜柱结构径向尺寸更均匀。
所提出的恒流控制方案能有效提高沉积结构表面的光滑度和一致性。
基于模糊PID的恒定电流控制有效抑制了电流波动，使沉积过程更稳定。