法布里-珀罗等离子体探针

线偏光下6倍场强

在无需复杂径向偏振光的条件下，将入射光高效聚焦至探针尖端，实现稳定宽带纳米聚焦和近场成像。

Hanjin, Dong · 胡文波 · Ji, Peirui · Weihao, Tao · Zhao, Shuhao · Zhang, Ze · Shenghan, Qin · 杨树明

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

电场强度增强倍数

6

分辨率

28.6 nm

工作波长范围

580–800 nm

技术优势

无需径向偏振光

通过非对称半环狭缝的偏振控制功能，线偏振光即可高效耦合并聚焦至尖端，简化了系统配置。

尖端曲率提升一个数量级

创新的套环刻蚀技术使探针尖端曲率提升一个数量级以上，并解决了常规制备中形貌不可控的问题。

场强提升6倍

在633 nm处，探针尖端的电场强度是非对称双缝探针的6倍，为高分辨成像和传感提供更强信号。

宽带稳定聚焦

在580–800 nm范围内保持稳定聚焦，短波长区域增强尤为显著，适用于多波长应用。

应用场景

• 超分辨成像：利用6倍场强与28.6 nm分辨率直接观察深亚波长样品形貌与光学特性。
• 纳米光学检测：在常压下同时获取纳米尺度形貌与光学信息，替代需要真空或复杂激发的检测手段。
• 等离子体传感：尖端强局域场增强可放大传感信号，提高检测灵敏度。
• 微纳制造：套环刻蚀技术实现尖端曲率一个数量级的提升，为微纳制造提供形貌可控的探针。