TiAlSiN/TiAlN多层膜

热分解延迟约100°C

通过界面结构调控,在保持高硬度的同时显著提升热稳定性,适用于恶劣环境下的防护涂层。

Du, Jian W. · 张洁 · 陈利 · Liu, Zhe · Pei, Fei · 孔毅

ACS Applied Materials & Interfaces 2023

参数信息

硬度
35.6 GPa
热分解延迟
100 °C

技术优势

热分解延迟100°C

ML_1的界面结构阻碍了各层间的相互扩散,从而将热分解温度推迟了约100 °C。

硬度高达35.6 GPa

通过外延生长形成的面心立方结构保持了连贯界面,使ML_1的硬度达到约35.6 GPa。

应用场景