Q值419万
通过7纳米超薄金属化降低薄膜阻尼，在不牺牲导电性的前提下将Q因子提升至419万。
Zhu, Feng · Mengxue, Li · 吴学忠 · Sun, Jiangkun · Lu, Kun · 肖定邦 · 士研 · Xi, Xiang
Journal of Microelectromechanical Systems 2025
通过3D掩膜调控薄膜厚度分布，避免不必要的金属沉积，从而减少能量耗散。
7 nm Pt薄膜电阻 ≤500Ω，满足低电阻要求。
基于3D掩膜的金属化工艺精确可控，已在实验中验证，适用于批量制造。