倾斜侧壁DUV micro-LED阵列

光提取效率提升近一成

混合气腔反射器和纳米图案蓝宝石衬底，减少光吸收并打破波导效应，尤其利于小尺寸器件。

Zhaoqiang, Liu · Jia, Tong · 楚春双 · Tian, Kangkai · 范超 · 张勇辉 · Zhang, Zihui Huizh

Optics Express 2024

具体参数

光功率提升

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技术优势

光功率提升近一成

底部气腔反射器减少了光吸收，并为光线提供了更多逃逸路径，直接带来了光功率的显著增加。

小尺寸器件获益更大

气腔反射器在小尺寸 micro-LED 阵列中的效果更突出，因为光子经历更少的散射就能进入逃逸锥。

打破波导效应

纳米图案蓝宝石衬底作为散射中心，能扩大逃逸锥并消除波导效应，进一步提升具有气腔反射器的器件的光提取效率。

应用场景

• 深紫外micro-LED：为深紫外 micro-LED 提供一种提升光提取效率的结构方案，解决效率瓶颈。
• 紫外光源：作为紫外光源，可在传感、固化、消毒等应用中提供更高输出功率。
• 微型化光电器件：该结构尤其适合小尺寸器件，为微型化光电器件的光管理提供有效方案。