迁移率提升六倍
采用70%相对湿度退火的全溶液加工In₂O₃薄膜晶体管，通过优化金属-氧-金属键合和结晶，实现电子逾渗路径改善、漏电流降低和电极电阻减小。
Zhang, Jingwei · Yihuan, Wang · 柴智敏 · 赵德文 · 路新春
Advanced Functional Materials 2025
退火相对湿度从10%升至70%时，载流子迁移率提高6倍，得益于优化的电子逾渗路径、降低的接触电阻和减少的电子陷阱态。
稳定性测试中阈值电压漂移极小，器件参数标准差小，表现出优异的环境与电学稳定性及高重复性。
采用全溶液法制备，以In2O3为沟道层、ITO为源漏和栅电极、Al2O3为栅介质，避免了真空沉积设备，适合低成本大面积制造。