3D MEMS力传感模块

术中实时反馈力

通过更换不同厚度和杨氏模量的弹性层实现灵敏度和量程的可调，微型尺寸使其易于集成到多种手术器械尖端。

Hou, Cheng · Kaiyao, Wang · 王凤霞 · Hanyang, Li · Lou, Liang · Zhang, Songsong · 古元冬 · 刘会聪 · 陈涛 · 孙立宁

Advanced Functional Materials 2023

参数信息

Z轴力测量范围

3 and 10 N

X轴灵敏度提升

8 ×

Y轴灵敏度提升

7 ×

技术优势

量程可调

通过更换不同厚度和杨氏模量的弹性层，同一模块可适应3 N至10 N的不同力测量范围。

灵敏度提升

X轴和Y轴灵敏度可分别提升至8倍和7倍，提高侧向力检测精度。

易于集成

微型尺寸使其能够集成到各种手术器械的尖端，无需大幅改动器械设计。

应用场景

• 手术机器人：集成到机器人手术器械尖端，实现操作力实时监测。
• 电子皮肤：作为电子皮肤敏感层，模拟触觉感知。
• 触觉传感：提供三维力检测，用于触诊模拟和组织穿刺力估计。
• 可穿戴医疗：微型模块可嵌入可穿戴设备，监测接触力。