二维压电粘滑执行器

大行程纳米级精度

采用并联导向解耦结构，实现大行程内的低耦合运动，同时保持纳米级位移分辨率。

Tong, Wu · 杨依领 · Wu, Gaohua · 崔玉国 · 73248019

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2024

参数信息

x方向位移分辨率

6.4 nm

y方向位移分辨率

7.3 nm

技术优势

可调预紧力

预紧单元采用柔性铰链调节接触摩擦力，从而优化粘滑运动性能。

应用场景

• 精密定位平台：替代传统二维平台，在13 mm行程内保持纳米级定位精度。
• MEMS装配：提供低耦合的二维运动，便于MEMS器件的对准与装配。
• 微纳操作：以纳米级分辨率和低耦合执行精细操作任务。
• 半导体检测：用于晶圆检测等需要大行程高精度定位的场景。