增强傅里叶光谱分析算法

抗频谱泄漏

该算法集成抗欠采样与抗重叠相移技术，从干涉信号中高效重构多叠加谐波，实现对透明平行平板前后表面、厚度变化和折射率不均匀性的同时解调。

常林 · Qichao, Shen · 张清珠 · Fangxiang, Zhuang · Cao, Yiqing · Junyi, Min · 于瀛洁

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

平均厚度

43 mm

技术优势

一次算完多表面

算法同时解调前后表面、厚度变化与折射率不均匀性，无需分别测量或额外装调。

抗频谱泄漏

算法对频谱泄漏具有鲁棒性，误差分析验证了不同腔长与面形组合下的有效性。

放宽腔长限制

在非苛刻腔长与采样频率下即可获得六幅独立易解释频谱，降低测量系统调试要求。

应用场景

• 光学表面检测：用于检测透明平行平板的前后表面形貌，无需分离测量即可同时获取。
• 透明平板测量：同时解调厚度变化与折射率不均匀性，适合平板元件的全面计量。
• 干涉测量：集成抗欠采样与抗重叠相移技术，提升干涉信号解调精度与效率。
• 精密光学制造：在非苛刻腔长下快速测量，适合制造过程中的在线检测与质量控制。