铜钌抛光缓蚀剂

微电偶腐蚀抑制98.6%

通过三唑与烟酸协同吸附,在铜/钌界面同时形成钝化膜和竞争吸附层,抑制抛光过程中的微电偶腐蚀。

Shuo, Gao · Jia-Hui, Ma · Jingyi, Lai · 柴智敏 · 葛世荣 · Cheng, Jie

Surfaces and Interfaces 2026

参数信息

电偶腐蚀电流降低率
98.6 %
电偶腐蚀因子
0.01
Cu/Ru表面电位差降低率
88.2 %
NA的HOMO-LUMO能隙
5.568 eV

技术优势

腐蚀电流降98.6%

10 mM TAZ + 80 mM NA的配方把电偶腐蚀电流压到原来的1.4%,腐蚀因子0.01意味着两种金属几乎不再互相加速腐蚀。

电位差收窄88.2%

Cu/Ru表面电位差大幅缩小,从根源上削弱微电偶腐蚀的驱动力,不用依赖单一金属的钝化。

两种金属同时护住

铜上形成Cu-TAZ/Cu-NA混合钝化膜,钌上NA主导的竞争物理吸附抑制局部腐蚀,一套配方覆盖界面两侧。

应用场景