自清除静电驱动薄膜

击穿自愈

通过超薄导电层实现击穿后自动清除损坏区域,让静电驱动器在多次电击穿后仍能继续工作,大幅提升可靠性和寿命。

Xie, Guoyong · Fan, Dongliang · Wang, Huacen · Renjie, Zhu · Mao, Jianjun · Wang H.

Soft Robotics 2023

参数信息

最大可用电压提升
260 %
最大静电粘附力提升
276 %
自清除次数
173 次

技术优势

显著提升耐压

自清除机制清除击穿点附近的导体,使最大可用电压提升260%。

大幅增强粘附力

击穿后自清除恢复绝缘,使最大静电粘附力提升276%。

工艺简单通用

仅需薄导电层,无需特定材料,兼容多种材料与制造工艺。

耐受反复击穿

在65分钟内连续自清除173次,器件依然存活。

应用场景