离子注入辅助激光加工碳化硅

表面粗糙度降为1/6

通过离子注入降低禁带宽度，实现单光子选择性激发与去除，克服传统激光加工难以获得纳米级表面的难题。

Wang, Jinshi

CIRP Annals - Manufacturing Technology 2023

技术优势

表面粗糙度降低至传统激光加工的1/6