纳米分辨大量程
一种非接触测头，通过双聚焦误差曲线纵向扫描，在保持纳米级分辨的同时将测量范围扩展至微米级。
徐建 · 黄强先 · Zhao, Zhihao · Xinlei, Chen · 张连生 · 程荣俊 · 潘巧生 · 李瑞君
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2023
采用高数值孔径聚焦透镜，纵向测量分辨能力进入纳米量级，满足微纳尺度的检测需求。
提出基于双聚焦误差曲线的纵向扫描策略，打破高数值孔径带来的量程瓶颈，使系统保持纳米分辨率的同时获得大测量范围。
重复性误差仅 17 nm，表明测头对同一点的多次测量结果稳定，适合高精度比对和校准任务。