双自由度微型超声电机

双向直线微驱动

单一金属块通过三振动模式耦合实现双自由度直线运动，结构极简。

Jianfa, Lin · Wang, Haoran · Shuying, Li · 潘巧生

Ultrasonics 2025

参数信息

x方向最大空载速度

40.13 mm/s

y方向最大空载速度

80.63 mm/s

x方向最大输出力

0.9 N

y方向最大输出力

1.55 N

电机尺寸

3.8 × 4.2 × 14.5 mm

技术优势

结构极简

只用单一空心矩形金属块即可实现双自由度直线运动，无需多定子或复杂传动，装配和集成成本低。

双向运动独立

x 方向由 L1-B2xoz 模态驱动，y 方向由 B2xoy-B2xoz 模态驱动，两个方向可分别控制，互不干扰。

应用场景

• 精密驱动与定位：双自由度直线运动可用于精密平台，省去复杂机械转换。
• 微型光学组件驱动：体积小，适合驱动微型透镜或反射镜做二维扫描。
• 微流控与MEMS：微型驱动可集成到微流控芯片中实现流体控制。
• 先进机器人关节：双自由度运动可简化微型机器人关节设计，减少自由度叠加。
• 具身智能执行器：作为具身智能执行器，提供紧凑的双轴运动方案。