高斯曲线微结构柔性压力传感器

全量程线性响应

通过高斯曲线形微结构阵列实现全检测范围内的高线性度与高灵敏度,显著降低信号采集复杂度。

Zhu, Bin · Xu, Zhenjin · 刘昕 · Wang, Zhongbao · 张杨 · 陈沁楠 · Teh, Kwok Siong · Zheng, Jianyi · 吴德志

ACS Sensors 2023

具体参数

灵敏度
{'zh': '1.77', 'en': '1.77'} kPa<sup>-1</sup>
线性度
{'zh': '0.99', 'en': '0.99'}
响应时间
{'zh': '25', 'en': '25'} ms
恢复时间
{'zh': '50', 'en': '50'} ms

技术优势

全量程线性

高斯曲线形微结构使传感器在20 Pa至30 kPa范围内线性度达0.99,信号采集无需复杂校准。

响应快

响应/恢复时间约25/50 ms,能捕捉快速压力变化。

应用场景