视觉传感纳米压痕仪

软材料力学测量

用视觉传感替代传统位移测量,在保持高分辨率的同时实现软材料力学性能的长期精确表征。

Chen, Buyun · Zhang, Zaicheng · 毕树生 · 王玉亮

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2025

参数信息

横向位移分辨率
0.43 nm
轴向位移分辨率
1.28 nm

技术优势

长期测量更一致

视觉传感跟踪悬臂梁偏转,避免了传统位移传感器在长时间工作下的漂移问题。

分辨到亚纳米

横向和轴向位移分辨率分别达到0.43 nm和1.28 nm,足以解析微小变形。

无需额外位移传感器

通过显微镜成像和微珠跟踪直接测量悬臂偏转,简化了系统结构。

应用场景