静电MEMS反射镜

扫描角精准预估

提出一种新颖阻尼模型，能更准确地分析静电MEMS反射镜的扫描角度。

Anjie, Peng · 乔大勇 · Xia, Changfeng · Song, Xiumin · Yuanyuan, Liu

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

技术优势

扫描角预估更准

将线性阻尼表达式代入运动方程数值求解，所得频率响应与实测吻合，验证了模型精度。

阻尼特性可直接使用

CFD仿真表明等效阻尼系数与振幅和频率成线性关系，据此建立解析表达式，无需反复仿真。

适合设计阶段评估

模型可在参数优化过程中预估扫描角，帮助减少设计迭代。

应用场景

• MEMS扫描镜：设计时预估扫描角，减少试制迭代。
• 激光雷达：提升MEMS扫描镜的扫描角度控制精度。
• 精密光学扫描：为精密光学扫描提供更准的角度预估。
• MEMS器件设计：在设计阶段用模型替代物理试错。