软互连悬臂梁PMUT

余振大幅缩短

通过后处理软互连策略，使悬臂梁同步振动，有效抑制异步振动并显著缩短余振尾迹，提升脉冲回波性能。

余洪斌

Microsystems and Nanoengineering 2025

参数信息

测距范围
270.8 mm
发散角接
170 °
谐振频率
69.2 kHz

技术优势

余振尾迹显著减少