六自由度误差补偿
通过嵌入式六自由度反馈系统，在X-Y平台中实时补偿俯仰、偏航、滚转及Z向直线度误差，实现纳米级定位精度。
He, Yaxiong · Rongwei, Lin · 李瑞君 · Li, Jie · 程真英 · 潘巧生 · 黄强先 · Fan, Kuangchao
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2024
平台集成了额外的激光干涉仪，基于 Bryan 原理实时测量并补偿 Z 向直线度误差，解决了现有 X-Y 平台对该方向误差不补偿的问题。
双轴自准直仪在 ±30 角秒范围内达到 0.01 角秒的分辨率，足以捕捉微小的俯仰、偏航和滚转误差。
在 X 和 Y 方向，残余定位误差保持在 ±10 nm 以内，满足纳米制造和测量设备的精度要求。