飞秒激光改性层

2 nm 改性层

飞秒激光与4H-SiC相互作用的原子尺度模拟揭示改性机制，为原子级制造提供理论指导。

Wang, Jinshi

Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers 2024

参数信息

激光能量密度

10 mJ/cm²

技术优势

改性层厚度随激光能量密度增大而增大