12倍细分外差干涉仪

动态分辨率<1nm

通过空间位置与等光程设计，突破传统4倍细分镜组的光学细分极限，实现短距离超精密测量。

Yunfei, Yin · Xihan, Sun · Yong, Liu · Shasha, Yin · 赵建科 · 马臻 · Zhen, Mao · Shaopeng, Wang · Li, Zhaohui

Optics Express 2025

参数信息

理论分辨率

0.103 nm

动态分辨率

1 nm

垂直运动动态误差

10 nm

水平运动动态误差

35 nm

稳定步进测量误差

1 nm

技术优势

理论分辨率突破0.1 nm

12倍光学细分将理论分辨率推进到优于0.103 nm，为纳米级测量提供了更高精度上限。

动态分辨率优于1 nm

实测动态分辨率优于1 nm，满足超精密位移测量对实时精度的要求。

垂直运动误差±10 nm内

垂直运动状态下动态误差优于±10 nm@20 mm，适合需要高垂直定位精度的场景。

稳定步进误差±1 nm

稳定步进测量误差优于±1 nm，保证了重复定位的高一致性。

应用场景

• 超精密位移测量：提供优于1 nm的动态分辨率，用于精密位移传感与纳米级位置反馈。
• 光刻机对准定位：以±1 nm稳定步进误差满足光刻对准的高精度重复定位需求。
• 五轴机床控制：在20 mm行程内保持±10 nm垂直动态误差，用于多轴联动的高精度反馈。