4H-SiC 高速刮擦声发射监测

实时无损识别材料去除模式

该方法将声发射传感与无监督深度学习结合，在高速刮擦中实现对 4H-SiC 延性变形与脆性断裂的自动区分与监测。

任小平

Materials Science in Semiconductor Processing 2025

参数信息

恒定刮擦速度

20 m/s

技术优势

材料去除行为从延性变形转变为脆性断裂

识别出幅度、能量和计数为区分材料去除模式和损伤类型的最佳特征参数