边缘接触碳纳米管晶体管

高密度不再牺牲开关

室温制备的边缘接触与双栅结构,在碳纳米管层数增加时保持开关性能不退化,有效抑制高密度薄膜的静电屏蔽。

杨雷静 · Yang, Yingjun · Wei, Nan · 张洪欣 · 张琦 · 忻向军

ACS Nano 2026

参数信息

开态电流
43 μA/μm
亚阈值摆幅
68 mV/dec
开/关电流比
>10⁶
环境稳定性
10 months

技术优势

突破密度带来的性能瓶颈

边缘接触取代传统侧接触后,开态电流随碳纳米管层数线性增长,不再因静电屏蔽而饱和,从而同时获得高驱动电流和高密度。

开关性能大幅跃升

双栅结构将双层碳纳米管器件的亚阈值摆幅从207降至68 mV/dec,开/关电流比从5 × 10⁴提升至超过10⁶,更接近理想开关特性。

免钝化长期稳定

准零维边缘接触与双栅结构在10个月大气暴露后仍保持电学性能,无需额外封装或钝化层,简化集成流程。

室温工艺降低热预算

边缘接触在室温下制备,避免高温对底层器件和柔性衬底的损伤,适用于三维集成和柔性电子。

应用场景