应变隔离
一种由高模量岛和弹性区域组成的共聚物基板,通过应变隔离实现大变形下功能器件的稳定集成。
Liu, Xiangye · Wang, Qiangzheng · Yulin, Wei · Bu, Fan · 王恺 · Wang, John · 张彪 · 官操
Advanced Materials 2024
基板模量对比近四个数量级