环环型大气等离子体射流

加工距离翻四倍

在光学制造中取代传统针环型射流,以更长的射流、更高的效率和更稳定的去除率为光学表面提供无损伤的等离子体刻蚀加工。

Wang, Rui · Zhe, Fan · Yu, Nan · Zhu Z. · 任明俊 · 张鑫泉 · 李洲龙 · 朱利民

Precision Engineering 2024

参数信息

加工距离
4 ×
加工效率
10 ×
材料体积去除率稳定性
58 %

技术优势

加工距离翻四倍

较长的放电羽流使喷头与工件之间的间距显著增加,便于在线温度监测和复杂面形加工。

效率提升十倍

在相同时间内去除更多材料,大幅缩短光学元件的加工周期。

去除率更稳定

材料体积去除率的波动减小,有利于实现精确的定量去除和表面修形。

在线测温

利用长射流的特性可直接监测加工足迹区域温度,建立温度与去除率的相关性以提升加工精度。

应用场景