太赫兹菲涅尔波带片

采用离子注入表面改性将硅的延脆转变深度提高近十倍，结合超精密切削与选择性金属化，在硅基底上直接加工出高质量衍射元件，为紧凑型太赫兹组件提供实用制造路径。