直线度±150μm
五自由度测量结合双轴精密水准仪,可同时测量直线度、角度误差与多轴平行度。
Ma, Shaohua · Kai, Jiang · 程真英 · 李瑞君 · Mengting, Cheng
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025
集成的五自由度测量系统和双轴精密水准仪,无需更换仪器即可测量直线度、角度误差和多轴平行度。
直线度误差检测范围达±150 μm,角度误差检测范围达±200″。
多导轨间平行度测量误差可控制在1″(5μm/m)以内。