表面粗糙度低
采用高速金刚石线锯工艺切割的蓝宝石晶片,表面质量优于常规参数切割的产品,为后续加工提供更好的基底。
Zhenfeng, Zhu · 高玉飞
International Journal of Advanced Manufacturing Technology 2023
提高线速度并降低进给速度,使材料去除更倾向于延性模式,减少脆性凹坑和锯痕,从而降低表面粗糙度。
基于锯切机理和材料去除机制建立数值模型,可预测磨粒密度和尺寸对表面粗糙度的影响,为合理选择锯丝参数提供理论参考。
提高线速度和降低进给速度可减少脆性凹坑和锯痕数量,降低表面波纹度周期,改善晶片表面形貌。