Fabry-Perot干涉CO₂测量仪

低检出限高精度

基于MEMS热辐射源与透射式光路设计，实现大气CO₂的实时在线测量，检出限低至ppb级。

Song, Wang · Chuang, Zhou · 李素文 · Mou, Fusheng

Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica 2024

参数信息

检出限

1.09×10⁻⁶

检测精度

±1.13×10⁻⁶

测量误差

1 %

相关系数

0.92

技术优势

检出限低至ppb级

该系统检出限为1.09×10⁻⁶，满足大气CO₂高精度测量需求。

测量误差小于1%

系统测量误差小于1%，确保测量结果的可靠性。

与商用仪器一致性好

与商用光声光谱多气体分析仪对比，CO₂变化趋势相关系数R=0.92，证明系统测量可靠。

应用场景

• 环境监测：实时在线监测大气CO₂浓度，为气候变化研究提供数据支持。
• 气体分析仪器：替代传统气体分析仪器，实现快速、低成本、高精度的CO₂测量。
• MEMS光谱仪：采用MEMS热辐射光源，实现便携式光谱测量，降低系统体积和成本。
• 智慧城市气体传感：部署于城市监测网络，提供CO₂浓度的实时数据，助力智慧城市环境管理。