参考光调制干涉仪

抗扰动波前测量

利用参考光调制与相干衍射成像，在环境扰动下实现与常规干涉方法相当的测量精度。

Xie, Li · 郭俊康 · Liu, Kunpeng · 刘志刚

Optics and Lasers in Engineering 2025

技术优势

抗环境扰动

相干衍射成像本身具备抗扰动能力，使得系统对振动和空气扰动不敏感。

精度不打折

仿真和实验证明，该方法在测量精度上与常规干涉方法相当。

应用场景

• 光学表面检测：用于光学表面形貌测量，替代对环境敏感的干涉仪。
• 波前传感：用于波前传感，在非理想环境下获取稳定波前信息。
• 精密干涉测量：用于精密干涉测量，降低对环境控制的要求。