PZT压电圆板

面向MEMS超声应用的环形压电板，可在不超屈服的前提下施加大幅激励电压。

Khalfi, H. · Naciri, Ismail · Rabab, Raghib · Elmaimouni, Lahoucine · Ratolojanahary, Faniry Emilson · Benami, Abdellah · 禹建功

Iranian Journal of Science and Technology - Transactions of Mechanical Engineering 2024

参数信息

极限电压

160 V

最大von Mises应力

31.2 MPa

技术优势

电压上限明确

施加不超过160 V的电压时，PZT-4环形板的最大von Mises应力为31.2 MPa，不超屈服，避免机械失效。

基模效率最高

基模的机电耦合系数最高，因此在超声传感和驱动中激发该模式可获得最佳能量转换。

应用场景

• MEMS超声传感器：作为敏感元件，在160 V内安全工作并激发高效基模。
• MEMS超声执行器：作为驱动元件，可在高电压下保持应力低于屈服。
• 超声换能器：利用基模高压电耦合实现高效电-声转换。