500匝仅0.72mm厚
用低温金压缩键合技术层层堆叠五层柔性线圈,把500匝线圈集成到10mm×10mm的微型占位里,兼顾了高匝数密度与机械柔性。
李运甲
Sensors and Actuators, A: Physical 2024
键合温度200℃
批量化制造