高密度柔性线圈

500匝仅0.72mm厚

用低温金压缩键合技术层层堆叠五层柔性线圈,把500匝线圈集成到10mm×10mm的微型占位里,兼顾了高匝数密度与机械柔性。

李运甲

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

参数信息

体积
10 mm
键合压力
8 MPa

技术优势

键合温度200℃

批量化制造