高响应强鲁棒
用于微型激光通信终端，通过位置误差反馈实现伺服控制，满足快速响应和高鲁棒性要求。
Wang, Xuan · 韩俊锋 · Wang, Chen · Su, Xiuqin · 刘鹏 · 曹玉 · 王帆 · 景峰
2023
通过光电探测器的位置误差反馈实现伺服控制，无需复杂模型即可保证光束指向稳定。
静电MEMS微镜是当前实现SWaP终端最有效的器件，适合立方星等小卫星平台。