激光改性氧化膜

耐蚀性最优

通过激光改性生成的氧化膜具有致密内层和多孔外层，击穿电荷阈值最高，能在喷射电化学加工中抑制侧向溶解，提高微结构深宽比。

Zhihao, Leng · Hongen, Han · 房晓龙 · Wanghuan, Qian

Journal of Materials Processing Technology 2026

参数信息

激光改性膜厚度

649 nm

钝化膜厚度

493 nm

自然氧化膜厚度

19.4 nm

技术优势

加工电流最低

激光改性膜具有致密内层和多孔外层，击穿电荷阈值最高，因此溶解所需电流最低。

侧向溶解最少

激光改性样品在加工中显著抑制侧向溶解，产生最窄最浅的沟槽，有利于提高微结构深宽比。

局部改性控形

通过局部激光改性策略，在同一工件不同区域形成差异化表面状态，从而选择性控制材料溶解，按需精密加工复杂结构中的特定区域。

应用场景

• 精密电化学加工：用激光改性控制表面氧化状态，实现微结构选择性精密加工。
• 铝合金表面处理：通过表面氧化膜调控提升铝合金电化学加工性能。
• 微结构制造：局部改性实现高深宽比微结构加工。