仿生并联XY压电定位台

纳米级分辨率·低应力

模仿跳蚤的粘滑驱动与正交导向结构，在实现高分辨率和大行程的同时显著降低系统应力与振动。

Meng, Xu · 杨依领 · Yang, Lv · Wu, Gaohua · 崔玉国

Precision Engineering 2025

参数信息

最大速度

9.03 mm/s

x方向位移耦合率

0.89 %

y方向位移耦合率

0.92 %

x方向分辨率

5 nm

y方向分辨率

5.5 nm

最大水平负载

1.4 N

最大垂直负载

40 N

技术优势

低应力

双圆弧仿生柔性铰链能显著降低应力，提升疲劳寿命。

抗干扰

在30 V干扰下仍能快速收敛到稳态，并抑制微纳振动。

解耦

正交导向机制结合粘滑驱动，实现低耦合与大行程的并行解耦。

应用场景

• 精密定位：提供纳米级分辨率与大行程的并行解耦定位。
• 微纳操作：低应力与抗振特性适合操作微小物体。
• 增材制造：高速与负载能力可集成到打印头的精密移动。
• 电子皮肤：柔性铰链技术可用于电子皮肤的微结构制造。