AlScN压电加速度计

温漂降低16倍

通过片上应力隔离结构显著降低灵敏度温漂，无需额外校准即可在高温等极端环境下实现稳定振动监测。

Zhang, Cheng · AnNa, Li · Huang, Jiaqi · Jiachang, Zhang · Hao, Huang · Yongquan, Su · Wang, Lihao · Liu, Yichen · Dalong, Chen · 田丰 · Wang, Yang · 武震宇

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

灵敏度温度系数

0.015 %/°C

上限截止频率

8000 Hz

量程

500 g

温度漂移降低倍数

16

技术优势

温漂降16倍

通过设计片上应力隔离结构，有效隔离了封装和材料热失配引入的应力，使灵敏度温度系数降至0.015 %/°C。

高温性能稳定

系统表征了AlScN薄膜在高温下的结晶学、电学参数及长期老化行为，证明其在高温下具有优异的稳定性和可靠性。

无需额外校准

通过降低温漂，该加速度计在极端环境下无需额外的校准程序即可保持测量精度，降低了维护成本并提高了系统可用性。

应用场景

• 高温振动监测：在涡轮机、燃烧室等高温场景下直接监测振动，无需频繁校准，提高测量效率与可靠性。
• 油气开采：在井下高温高压等严苛环境中长期稳定测量设备振动，避免因校准停机造成的生产损失。
• 恶劣环境传感：在化工、冶金等腐蚀性与高温环境中提供免校准的振动数据，降低维护复杂度。