杂化溅射TiBₓ涂层

硬度超40 GPa

杂化溅射工艺制备的TiBₓ涂层兼具高硬度、低残余应力和强附着性，优于单一溅射模式的TiBₓ涂层。

Gu, Jiabin · 李建勇 · Jie, Jin · Lliuhe, Li

Surface Technology 2024

参数信息

硬度

40.1 GPa

附着强度等级

HF1

技术优势

硬度超高

杂化模式在−130 V偏压下获得(40.1±1.3) GPa的最高硬度，超过单一溅射模式。

附着更牢

杂化模式涂层附着强度等级为HF1，优于HiPIMS模式（HF1-HF4）。

应力更低

杂化模式兼具低残余应力，有利于涂层在复杂工况下的稳定性。

应用场景

• 硬质涂层：提供兼具高硬度和低应力的防护涂层解决方案。
• 切削刀具：可提高刀具表面硬度，有望延长使用寿命。
• 航空部件：低应力高硬涂层能改善部件耐磨性与可靠性。