光流法布里-珀罗传感器

单芯片测压力温度流量

将光纤法布里-珀罗干涉仪与微流控芯片集成，无需多个独立传感器即可同时定量微流控芯片内的多物理参数。

Xu, Bin · Qingtian, Zhao · Duan, Xiudong · 黄田野 · 宋潮龙 · 涂鑫

Journal of Lightwave Technology 2023

参数信息

气压灵敏度

-2393.3 nm/Bar

气压噪声等效检测限

48.4 μBar

流速灵敏度

-1.8574 nm/(μl/min)

流速噪声等效检测限

97.1 nl/min

技术优势

一个传感器测三参量

用光纤法布里-珀罗干涉仪同时解调气压、局部温度和流速，避免在微流控芯片中集成多个独立传感器带来的复杂性和成本。

应用场景

• 微流控芯片监测：实时感知芯片内压力、温度与流量，保障微流控实验条件稳定。
• 片上生化反应监测：监测生化反应过程中的物理环境变化，为反应优化提供数据。
• 多参数流体测量：用单一光纤传感器同时获得多个流体参数，简化测量系统。
• 光纤传感：利用光纤法布里-珀罗干涉技术实现高灵敏、小型化的流体传感。