可调孔径
采用电解等离子体辅助化学刻蚀在SiC晶片表面制备出均匀纳米多孔结构，方法不含氟且环保。
Zhan, Shunda · Bowen, Liu · Yu, Xuemeng · Xihan, Chen · Guosong, Zeng · 赵永华
Small 2023