富铝Al-Te OTS玻璃

富铝组分中Al-Al共价键确保了强关态绝缘特性，从而有效降低OTS选择器的漏电流。

Xiaodong, Li · Maoan, Tian · Wang, Baiqian · 陈念科 · 李贤斌

Journal of Applied Physics 2023

参数信息

Al-Al键ICOBI

0.8-0.9

Al-Al键ICOBI

0.227

技术优势

漏电被成键本质压制

富铝组分中多余的Al形成共价Al-Al键，其ICOBI为0.8-0.9，远高于纯金属中Al-Al键的0.227，确保带隙内无缺陷态，从而降低关态电流。

找出失效成分的根源

缺铝组分中Te-Te相互作用产生midgap states，降低绝缘性；这解释了为何偏离富铝配比会导致漏电增大。

应用场景

• 三维交叉阵列存储：富铝Al-Te玻璃关态绝缘好，选通管可直接抑制串扰电流，提升阵列良率。
• 阈值开关选通管：共价Al-Al键确保低漏电，用来造选通管可降低待机功耗并提高读取可靠性。