微机电镜拉曼LIBS成像仪

微型高分辨双谱成像

用双二维MEMS镜扫描缩短光路，在94 mm × 66 mm探头内同时实现拉曼与LIBS高分辨成像。

赵维谦

Analytica Chimica Acta 2024

参数信息

光学探头尺寸

94 mm

轴向聚焦能力

约40 nm

拉曼成像横向分辨率

约700 nm

成像横向分辨率

9.5 μm