非接触振动传感器

挤压膜阻尼高分辨

利用挤压膜阻尼效应，实现对介电易损样品的高分辨率非接触振动测量，优于0.1纳米。

Zhai, Shenghang · Liang, Liang · 施佳林 · 玉鹏 · Yang, Tie · Yang, Yang · Su, Chanmin · 刘连庆

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024

参数信息

分辨率

<0.1 nm

减振误差

1 nm

减振误差降低比例

63-88 %

技术优势

介电样品也能测

基于挤压膜阻尼效应的非接触测量，不依赖样品导电性，适用于介电和易损样品。

分辨率优于0.1 nm

传感器分辨率小于0.1 nm，能够捕捉极微弱的相对振动，为高精度成像提供可靠振动信号。

扣除误差降到1 nm内

通过幅相调节器补偿传感器与AFM的动态差异，将振动信号扣除后的残余误差控制在1 nm以内。

误差降低63–88%

与传统直接扣除方法相比，减振误差降低63–88%，显著提升图像质量。

应用场景

• 精密测量：为大型工件精密测量提供振动补偿，提升测量分辨率。
• 微纳制造：实时监测加工设备振动，保障微纳结构加工精度。
• 原子力显微镜：集成到大型AFM，直接扣除样品与探针间的相对振动，抑制图像噪声。
• 机床振动监测：用于机床振动监测，提供高分辨率动态信号辅助诊断。