多尺寸晶圆稳定悬浮
采用阶梯环辐射体和兰杰文换能器的一体化结构，在单一器件上稳定悬浮125 mm至300 mm晶圆，省去预设悬浮高度的迭代修正。
Lipeng, Wang · 吴疆 · Tian, Junjie · 荣学文 · 宋锐 · 李沂滨
International Journal of Mechanical Sciences 2026
同一悬浮器无需更换辐射面，就能稳定悬浮125–300 mm晶圆，悬浮高度从0.33到0.65 mm。
基于理想气体定律的动力模型直接算出悬浮高度，不需要像传统模型那样预设间隙或反复修正。
对150 mm晶圆，模型预测与实验结果的偏差低于4.7%，说明模型足够可靠，能指导设计和工况选择。