纳米线阵列CNF电极

传质强化 加工更稳

表面直立NiCo₂S₄纳米线阵列打破气泡黏附与界面滑移瓶颈，强化近壁对流传质，让微细电化学加工更稳、更快、更光洁。

Meng, Lingchao · 李亚兵 · Yang, Yongchao · 李昊

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

最大稳定进给速率

0.8 μm/s

功率波动频率

0.2 /min

表面粗糙度 Ra

25.5 nm

批量加工相对标准偏差

0.1 %

技术优势

加工更稳定

纳米线阵列穿透气垫、抑制边界滑移，加强流体-固体耦合，使功率波动频率降至原来的1/11。

加工速度快一倍

传质增强使得最大稳定进给速率从0.4 μm/s提升到0.8 μm/s，加工速度提高一倍。

表面更光洁

加工后表面粗糙度Ra降低约60%，达到25.5 nm，有利于提高微构件质量。

批量一致性好

多线多层电化学加工25个阶梯悬臂微构件，相对标准偏差低于0.1%，证明了工程实用性。

应用场景

• 微细电化学加工：解决线电极加工中的传质瓶颈，提升稳定性和精度。
• 碳纳米管纤维：在CNF表面原位生长纳米线阵列，解决疏水与气泡问题。
• 微结构批量化制造：多线多层加工实现高一致性批量制造，RSD低于0.1%。
• 精密加工工具电极：表面微织构设计让工具电极在微细加工中更稳定耐用。