表面粗糙度最大降21%
该纵扭复合超声振动磨削技术通过改变单颗磨粒的运动轨迹，显著减少蓝宝石加工中的块状剥落和凹坑尺寸，提高塑性域去除比例，从而获得更优的表面质量。
Hailong, Xu · 殷振 · 苗庆 · 戴晨伟 · Jingcai, Cheng · 李华 · Zhiqiang, Liang · Li, Zhanjie
Materials Science in Semiconductor Processing 2024
与常规端面磨削相比，纵扭复合超声振动可使蓝宝石表面粗糙度最大降低20.98%，有利于减少后续抛光工序。
该技术能减小表面凹坑尺寸；当纵向振幅为0.8 μm时，平均凹坑长度和深度分别低至33.13 μm和5.296 μm，改善表面完整性。
纵扭复合超声振动可减少块状剥落，避免加工表面出现大片材料脱落，从而提高工件的表面平整度。
超声振动有助于提高塑性域去除比例，使材料以延性方式去除而非脆性断裂，从而获得更光滑的加工表面。