灵敏度提升3倍
通过介质调制嵌入式栅极扩大生物分子捕获面积，实现无标记检测的灵敏度与信噪比同步提升。
贾护军 · 74942746 · 74942745 · Linna, Zhao · Qiyu, Su · 74942747 · 曹震 · 杨银堂
Micro and Nanostructures 2024
将空腔设置在嵌入式栅极下方，增大了生物分子与传感表面的接触区域。
与FinFET相比，电流开关比灵敏度提高约27倍，阈值电压灵敏度提高约34%。
线性度评估表明EGGAA-FinFET比FinFET具有更优的抗噪声能力。