SiO₂薄膜SAW湿度传感器

无线无源高灵敏

采用SiO₂薄膜作为敏感界面的声表面波湿度传感器，可通过无线方式在0.5米外进行湿度检测。

Gao, Xu · 薛蓄峰 · Hu, Fanbing · 张超 · Cheng, Lina · Liang, Yong · 王文

IEEE Sensors Journal 2023

具体参数

湿度灵敏度

11.8 °/ %RH

无线检测距离

0.5 m

技术优势

响应时间60 s，恢复时间90 s