抗氢中毒
经氢处理后性能劣化,表明该器件在含氢环境中需采取防护措施,凸显抗氢设计的重要性。
He, Zhiyuan · He, Liang · Kun, Jiang · Xiaoyue, Duan · Shi, Yijun · Chen, Xinghuan · 陈原 · Wu, Hualong · Lu, Guoguang · Ni, Yiqiang
Journal of Physics D: Applied Physics 2024
漏源电流显著下降
阈值电压负向漂移
关态栅极漏电流增加
亚阈值摆幅劣化